環氧乙烷滅菌是一種低溫滅菌過程，旨在對對熱和/或濕氣敏感的儀器或設備進行滅菌。ETO是一種易燃易爆的無色氣體。四個基本參數（操作范圍）是：氣體濃度（450至1200毫克/升）; 溫度（37至63°C）; 相對濕度（40至80％）（水分子攜帶ETO到反應位點）; 和暴露時間（1至6小時）。這些影響了ETO滅菌的有效性。在某些限制內，氣體濃度和溫度的升高可縮短實現滅菌所需的時間。
基本的ETO滅菌周期包括五個階段（即預處理和加濕，氣體引入，暴露，疏散和空氣清洗），并且需要大約2-1 / 2小時，不包括曝氣時間。在50至60℃下機械通氣8至12小時允許解吸暴露的吸收材料中所含的有毒ETO殘余物。大多數現代ETO
滅菌器將滅菌和通氣結合在同一腔室中作為連續過程。這些ETO型號可zui大限度地減少門打開和負載傳遞到曝氣器時潛在的ETO暴露。環境室通風也將實現有毒ETO的解吸，但需要在20°C下7天。
